Подробное описание документа
Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М. : МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. - 382 с. : ил. - Библиогр.
В сборник включены материалы докладов по следующим научным направлениям конференции:
- физические явления и процессы в вакууме;
- расчет и моделирование вакуумных систем и технологических процессов;
- средства получения, измерения вакуума и течеискание;
- вакуумная механика и трибология;
- процессы в вакуумных электрофизических установках и приборах;
- вакуумные технологии и нанотехнологии;
- вакуумные биомедицинские технологии, оборудование, приборы;
- эмиссионные процессы и источники заряженных частиц в приборах и
устройствах;
- технологическое вакуумное оборудование;
- модификация и синтез материалов в вакууме;
- вакуумные технологии в космических исследованиях;
- мощные электровакуумные приборы.
Материалы сборника представляют интерес для ученых и специалистов, работающих в области электронной техники и в отраслях народного хозяйства, где применяются вакуумные приборы и устройства. Также они могут быть полезными для студентов и аспирантов, обучающихся на соответствующих специальностях, в их научной и учебной деятельности.
621.52 Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы2 экз.
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
Платформа для нанопозиционирования и активной виброизоляции / Михайлов В. П., Базиненков А. М., Селиваненко А. С.
Инженерные нанотехнологии в области вакуумной техники / Панфилов Ю. В.
Исследование планарных опаловых структур методами сканирующей туннельной микроскопии / Панфилова Е. В.
Измерение механических и геометрических характеристик тонкопленочных покрытий / Булыгина М. В., Панфилов Ю. В.
Вакуумное технологическое оборудование заданной производительности / Одиноков В. В., Панфилов Ю. В.
Масс-спектрометрия продуктов поверхностной ионизации технического тротила / Капустин Д. В., Коржавый А. П., Капустин В. И.