Подробное описание документа
Исследование характеристик рабочей среды в механизмах точных перемещений и виброизоляции вакуумного технологического и исследовательского оборудования / Базиненков А. М., Михайлов В. П., Горбунов И. С., Мосина М. С. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. -
533.599 Вакуумные установки