Подробное описание документа

Журнал

Нано- и микросистемная техника.
Т. 19, № 10. - 2017.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 579-587

Статья

Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
Расчет движения подложки для повышения равномерности покрытий в установках с планарными цилиндрическими магнетронами / Васильев Д. Д., Моисеев К. М.

подробнее