Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Журнал

   Нано- и микросистемная техника.
   Т. 19, № 10. - 2017.

1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 579-587
   Статья
Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Расчет движения подложки для повышения равномерности покрытий в установках с планарными цилиндрическими магнетронами / Васильев Д. Д., Моисеев К. М.