Подробное описание документа

Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Расчет движения подложки для повышения равномерности покрытий в установках с планарными цилиндрическими магнетронами / Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2017. - Т. 19, № 10. - С. 579-587.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Авторы МГТУ

• Васильев Денис Дмитриевич
• Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях