Подробное описание документа
Журнал
Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век.
Т. 9, № 3. - 2017.
1 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 18-23
Статья
Панфилов Ю. В.
Выбор метода и режимов нанесения тонкой пленки с заданной структурой с помощью виртуального эксперимента / Панфилов Ю. В.
Выбор метода и режимов нанесения тонкой пленки с заданной структурой с помощью виртуального эксперимента / Панфилов Ю. В.