Подробное описание документа

Панфилов Ю. В.
   Выбор метода и режимов нанесения тонкой пленки с заданной структурой с помощью виртуального эксперимента / Панфилов Ю. В. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век. - 2017. - Т. 9, № 3. - С. 18-23.

УДК

372.862

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях