Подробное описание документа

Статья

Панфилов Ю. В.
Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. - С. 523-527.

УДК
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Авторы МГТУ

Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 523-527

Журнал

Упрочняющие технологии и покрытия.
Т. 13, № 11. - 2017.

подробнее