Подробное описание документа
Статья
Панфилов Ю. В.
Наноструктурированные тонкопленочные покрытия с различными упрочняющими эффектами / Панфилов Ю. В. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2017. - Т. 13, № 11. -
621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них