Подробное описание документа

Оглавление

   Журнал

   Микроэлектроника.
   Т. 47, № 3. - 2018.

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 179-186

   Статья в журнале

   Влияние дозы экспонирования на стойкость негативного электронного резиста HSQ в процессах плазмохимического и химического травления / Мягоньких А. В., Орликовский Н. А., Рогожин А. Е., Татаринцев А. А., Руденко К. В.

подробнее