Подробное описание документа
Журнал
Оптический журнал.
Т. 85, № 3. - 2018.
1 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 54-61
Статья
Высокоточный метод контроля параметров локальных отклонений нанометрового уровня поверхности оптической детали / Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Абдулкадыров М. А., Игнатов А. Н., Патрикеев В. Е., Семёнов А. П., Морозов А. Б., Судариков И. Н., Шаров Ю. А.