Подробное описание документа

   Высокоточный метод контроля параметров локальных отклонений нанометрового уровня поверхности оптической детали / Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Абдулкадыров М. А., Игнатов А. Н., Патрикеев В. Е., Семенов А. П., Морозов А. Б., Судариков И. Н., Шаров Ю. А. // Оптический журнал. - 2018. - Т. 85, № 3. - С. 54-61.

УДК

535-15 Инфракрасные лучи

Авторы МГТУ

• Барышников Николай Васильевич
• Денисов Дмитрий Геннадьевич
• Карасик Валерий Ефимович
• Морозов Алексей Борисович

Статья опубликована в следующих изданиях