Подробное описание документа
Статья
Высокоточный метод контроля параметров локальных отклонений нанометрового уровня поверхности оптической детали / Барышников Н. В., Денисов Д. Г., Карасик В. Е., Абдулкадыров М. А., Игнатов А. Н., Патрикеев В. Е., Семёнов А. П., Морозов А. Б., Судариков И. Н., Шаров Ю. А. // Оптический журнал. - 2018. - Т. 85, № 3. -
535-15 Инфракрасные лучи