Подробное описание документа

Журнал

Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век.
Т. 10, № 2. - 2018.

Читать онлайн

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Содержание

с. 38-51

Статья

Жидкостное травление кремния при изготовлении голограммных оптических элементов / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Дроздова Е. А., Бетин А. Ю.

подробнее