Подробное описание документа

   Жидкостное травление кремния при изготовлении голограммных оптических элементов / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Дроздова Е. А., Бетин А. Ю. // Нанотехнологии. Разработка. Применение. ХХ1 век. - 2018. - Т. 10, № 2. - С. 38-51.

УДК

535.421 Плоские волны. Дифракционная решетка. Дифракционный спектр

Авторы МГТУ

• Одиноков Сергей Борисович
• Сагателян Гайк Рафаэлович
• Дроздова Екатерина Андреевна
• Бетин Александр Юрьевич

Статья опубликована в следующих изданиях