Личный кабинет
Подробное описание документа
Журнал
Известия ВУЗов. Сер. "Электроника".
Т. 23, № 5. - 2018.
Скачать оглавление1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 454-467
Статья
Исследование технологических режимов газофазного формирования начального слоя кремния на сапфире / Федотов С. Д., Соколов Е. М., Стаценко В. Н., Ромашкин А. В.
