Подробное описание документа

Оглавление

   Журнал

   Известия ВУЗов. Сер. "Электроника".
   Т. 23, № 5. - 2018.

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 454-467

   Статья в журнале

   Исследование технологических режимов газофазного формирования начального слоя кремния на сапфире / Федотов С. Д., Соколов Е. М., Стаценко В. Н., Ромашкин А. В.

подробнее