Подробное описание документа

   Оценка нагрева поверхности полупроводниковой мишени низкоэнергетичным электронным зондом / Амрастанов А. Н., Серегина Е. В., Степович М. А., Филиппов М. Н. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2018. - № 8. - С. 48-52.

УДК

537.533.9 Прочие действия пучков электронов

Авторы МГТУ

• Серегина Елена Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях