Расширенный поиск

Амрастанов А. Н., Серегина Е. В., Степович М. А.
   Оценка нагрева поверхности однородной металлической мишени электронным зондом / Амрастанов А. Н., Серегина Е. В., Степович М. А. // Известия РАН. Сер. "Физическая". - 2019. - Т. 83, № 11. - С. 1455-1460.

   Влияние дозы экспонирования на стойкость негативного электронного резиста HSQ в процессах плазмохимического и химического травления / Мягоньких А. В., Орликовский Н. А., Рогожин А. Е., Татаринцев А. А., Руденко К. В. // Микроэлектроника. - 2018. - Т. 47, № 3. - С. 179-186.

   Оценка нагрева поверхности полупроводниковой мишени низкоэнергетичным электронным зондом / Амрастанов А. Н., Серегина Е. В., Степович М. А., Филиппов М. Н. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2018. - № 8. - С. 48-52.

Широкова Е. В., Степович М. А.
   Оценка использования новых матричных поправок в количественном рентгеноспектральном микроанализе / Широкова Е. В., Степович М. А. // Поверхность: рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2018. - № 4. - С. 96-100.