Подробное описание документа

   Возможности плазмохимического травления стекла с применением высокочастотной диодной системы / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н., Ковалев М. С. // Контенант. - 2018. - Т. 17, № 1. - С. 67-70.

УДК

621.794.4 Травление

Авторы МГТУ

• Одиноков Сергей Борисович
• Сагателян Гайк Рафаэлович
• Ковалев Михаил Сергеевич

Статья опубликована в следующих изданиях