Подробное описание документа
Статья
Возможности метода плазмохимического травления оптического стекла для создания функционального микрорельефа / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Бугорков К. Н., Попов В. В. // Контенант. - 2018. - Т. 17, № 3. -
621.794.4 Травление