Подробное описание документа
Диссертация
Бабурин А. С.
Формирование ультрагладких сверхтонких монокристаллических пленок металлов для устройств нанофотоники электронно-лучевым испарением в вакууме : дис... ктн : 05. 27. 06 / Бабурин А. С. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. (Нац. исслед. ун-т). - М., 2019. - 128 л. : ил. - Библиогр.:
621.793.1 Нанесение покрытий и осаждение пленок вакуумным испарением и конденсацией. Вакуумная металлизация1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л