Подробное описание документа

   Анализ разрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок / Шупенев А. Е., Панкова Н. С., Коршунов И. С., Григорьянц А. Г. // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2019. - № 3. - С. 31-39.

УДК

53.082.53 на использовании отражения, преломления и поглощения света

Авторы МГТУ

• Шупенев Александр Евгеньевич
• Панкова Наталия Сергеевна
• Коршунов Иван Сергеевич
• Григорьянц Александр Григорьевич

Статья опубликована в следующих изданиях