Подробное описание документа

Оглавление

   Журнал

   Оптический журнал.
   Т. 86, № 5. - 2019.

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 70-77

   Статья в журнале

   Особенности плазмохимического травления кварцевого стекла при формировании глубокого рельефа на прецизионных деталях приборов / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Ковалев М. С., Бугорков К. Н.

подробнее