Личный кабинет
Подробное описание документа
Журнал
Оптический журнал.
Т. 86, № 5. - 2019.
Скачать оглавление1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 70-77
Статья
Особенности плазмохимического травления кварцевого стекла при формировании глубокого рельефа на прецизионных деталях приборов / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Ковалев М. С., Бугорков К. Н.
