Подробное описание документа

   Статья

   Особенности плазмохимического травления кварцевого стекла при формировании глубокого рельефа на прецизионных деталях приборов / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Ковалев М. С., Бугорков К. Н. // Оптический журнал. - 2019. - Т. 86, № 5. - С. 70-77.

УДК

681.2-2 Подвижные и неподвижные детали измерительных приборов

Авторы МГТУ

• Одиноков Сергей Борисович
• Сагателян Гайк Рафаэлович
• Ковалев Михаил Сергеевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 70-77

   Журнал

   Оптический журнал.
   Т. 86, № 5. - 2019.

подробнее