Подробное описание документа

Волчкевич И. Л.
   Исследование и разработка импульсно-динамических методов нанесения тонкопленочных покрытий : 05. 03. 01 : дис... ктн / Волчкевич И. Л. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 1994. - 163 л. - Библиогр.: л. 153-161.

УДК

621.793 Нанесение металлических и неметаллических покрытий. Металлизация. Нанесение проводниковых, полупроводниковых, резистивных, диэлектрических, магнитных покрытий и пленок из них

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Диссертации

Авторы МГТУ

• Волчкевич Илья Леонидович

Общее кол-во в фондах

1 экз.

Заказать в читальный зал

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л