Подробное описание документа

   Статья

   Анализ неразрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок / Шупенев А. Е., Панкова Н. С., Коршунов И. С., Григорьянц А. Г. // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2019. - № 4. - С. 18-27.

УДК

53.082.53 на использовании отражения, преломления и поглощения света

Авторы МГТУ

• Шупенев Александр Евгеньевич
• Панкова Наталия Сергеевна
• Коршунов Иван Сергеевич
• Григорьянц Александр Григорьевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 18-27

   Журнал

   Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение".
   № 4. - 2019.

подробнее