Подробное описание документа

   Статья в журнале

   Анализ неразрушающих методов измерения и контроля толщины тонких пленок / Шупенев А. Е., Панкова Н. С., Коршунов И. С., Григорьянц А. Г. - DOI 10.18698/0536-1044-2019-4-18-27 // Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - 2019. - № 4. - С. 18-27.

Читать онлайн

Скачать документ

Полнотекстовый документ

DOI 10.18698/0536-1044-2019-4-18-27

https://doi.org/10.18698/0536-1044-2019-…

izvuzmash.bmstu.ru/catalog/mechanical/meth_mon/1646.html

https://izvuzmash.bmstu.ru/catalog/mecha…

УДК

53.082.53 на использовании отражения, преломления и поглощения света

Авторы МГТУ

• Шупенев Александр Евгеньевич
• Панкова Наталия Сергеевна
• Коршунов Иван Сергеевич
• Григорьянц Александр Григорьевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 18-27

   Журнал

   Известия ВУЗов. Сер. "Машиностроение". - ISSN 0536-1044 (print). - ISSN 2411-7196 (web).
   № 4. - 2019.

подробнее