Подробное описание документа
                   Статья
            
        
               Влияние скин-эффекта на структуру рельефно-фазовых оптических элементов, получаемых методом плазмохимического травления / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Ковалев М. С., Бугорков К. Н. // Оптический журнал. - 2019. - Т. 86, № 9. - 
681.2-2 Подвижные и неподвижные детали измерительных приборов
