3 записи
Статья
Влияние скин-эффекта на структуру рельефно-фазовых оптических элементов, получаемых методом плазмохимического травления / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Ковалев М. С., Бугорков К. Н. // Оптический журнал. - 2019. - Т. 86, № 9. - С. 78-86 .
Статья
Особенности плазмохимического травления кварцевого стекла при формировании глубокого рельефа на прецизионных деталях приборов / Одиноков С. Б., Сагателян Г. Р., Ковалев М. С., Бугорков К. Н. // Оптический журнал. - 2019. - Т. 86, № 5. - С. 70-77 .