Подробное описание документа

Статья

Определение режима очистки подложек из кремния ионным источником на установке ВУП-11М / Константинова Т. Г., Мамонтова В. А., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. - С. 277-280.

УДК
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

Авторы МГТУ

Васильев Денис Дмитриевич

Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 277-280

Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2018. - 842 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7038-5032-9.

подробнее