Васильев Денис Дмитриевич

   Исследование равномерности состава двухкомпонентной пленки WxSi1-x по толщине при магнетронном распылении из двух источников / Моисеев К. М., Васильев Д. Д., Хыдырова С., Михайлова И. В. // Наукоемкие технологии. - 2020. - Т. 21, № 9. - С. 13-21.

   Исследование влияния параметров импульсного сигнала на параметры пленок ITO / Акишин М. Ю., Малеванная Е. И., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. - С. 233-236.

   Исследование влияния параметров отжига на поверхностное сопротивление покрытий ITO / Зыков Д. Д., Акишин М. Ю., Малеванная Е. И., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. - С. 256-258.

   Автоматизация процесса нанесения тонких двухкомпонентных пленок WSi на установке ВУП-11М / Константинова Т. Г., Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. - С. 273-277.

   Определение режима очистки подложек из кремния ионным источником на установке ВУП-11М / Константинова Т. Г., Мамонтова В. А., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. - С. 277-280.

   Влияние физических и геометрических параметров установки плазменной обработки на угол смачиваемости стеклянной подложки / Павленко А. Д., Рыбальченко Я. Г., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. - С. 286-2289.

   Проверка методики сравнения магнитных систем / Полин Д. А., Матанин А. Р., Храмова А. А., Бобровский Л. И., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. - С. 290-293.

Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Расчет движения подложки для повышения равномерности покрытий в установках с планарными цилиндрическими магнетронами / Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Нано- и микросистемная техника. - 2017. - Т. 19, № 10. - С. 579-587.

Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Особенности формирования диоксида кремния реактивным высокочастотным магнетронным распылением на установке ВУП-11М / Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2016. - № 4. - С. 20-24.

Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М.
   Исследование влияния вспомогательных операций на состав остаточной атмосферы установки ВУП-11М / Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2015. - С. 208-212.

   Формирование функциональных тонкопленочных покрытий на установке ВУП-11М для микрокоммутационных модулей / Васильев Д. Д., Моисеев К. М., Макарова Ю. С., Габидуллин А. Р. // Вакуумная наука и техника : материалы XXI научно-техн. конф. с участием зарубежных специалистов, октябрь 2014 г. / ред. Быков Д. В. ; НИИ микроэлектроники и информационно-измерительной техники (МИЭМ НИУ ВШЭ). - М., 2014. - С. 148-152.

Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Оценка неравномерности тонкопленочного покрытия при магнетронном распылении с учетом влияния зоны эрозии планарного цилиндрического магнетрона / Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 291-295.

Бабурин А. С., Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
   Проблемы повышения адгезии меди к конструкционному фоторезисту SU-8 и методов ее измерения / Бабурин А. С., Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 296-299.