Подробное описание документа

Журнал

Известия ВУЗов. Сер. "Физика". - ISSN 0021-3411.
Т. 63, № 1. - 2020.

Читать онлайн

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Содержание

с. 84-87

Статья

Плазменное травление в технологии InALN/GAN HEMT / Филиппов И. А., Шахнов В. А., Великовский Л. Э., Брудный П. А., Демченко О. И.

подробнее