Подробное описание документа

Статья

Плазменное травление в технологии InALN/GAN HEMT / Филиппов И. А., Шахнов В. А., Великовский Л. Э., Брудный П. А., Демченко О. И. // Известия ВУЗов. Сер. "Физика". - 2020. - Т. 63, № 1. - С. 84-87.

УДК
537.312 Действие внешних факторов на проводимость и сопротивление

Авторы МГТУ

Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 84-87

Журнал

Известия ВУЗов. Сер. "Физика". - ISSN 0021-3411.
Т. 63, № 1. - 2020.

подробнее