Подробное описание документа

   Статья

   Плазменное травление в технологии InALN/GAN HEMT / Филиппов И. А., Шахнов В. А., Великовский Л. Э., Брудный П. А., Демченко О. И. // Известия ВУЗов. Сер. "Физика". - 2020. - Т. 63, № 1. - С. 84-87.

УДК

537.312 Действие внешних факторов на проводимость и сопротивление

Авторы МГТУ

• Шахнов Вадим Анатольевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 84-87

   Журнал

   Известия ВУЗов. Сер. "Физика". - ISSN 0021-3411.
   Т. 63, № 1. - 2020.

подробнее