Подробное описание документа
Статья
Плазменное травление в технологии InALN/GAN HEMT / Филиппов И. А., Шахнов В. А., Великовский Л. Э., Брудный П. А., Демченко О. И. // Известия ВУЗов. Сер. "Физика". - 2020. - Т. 63, № 1. -
537.312 Действие внешних факторов на проводимость и сопротивление