Подробное описание документа

Цветков Ю. Б., Панфилов Ю. В.
   Современная контактная фотолитография - ключевой процесс микроэлектронного приборостроения / Цветков Ю. Б., Панфилов Ю. В. // Приборы. - 2020. - № 1. - С. 46-54.

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович
• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях