Подробное описание документа

   Статья

Цветков Ю. Б., Панфилов Ю. В.
   Современная контактная фотолитография - ключевой процесс микроэлектронного приборостроения / Цветков Ю. Б., Панфилов Ю. В. // Приборы. - 2020. - № 1. - С. 46-54.

Авторы МГТУ

• Цветков Юрий Борисович
• Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 46-54

   Журнал

   Приборы.
   № 1. - 2020.

подробнее