Подробное описание документа
1 экз.![]()
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 13-21
Статья в журнале
Исследование равномерности состава двухкомпонентной пленки WxSi1-x по толщине при магнетронном распылении из двух источников / Моисеев К. М., Васильев Д. Д., Хыдырова С., Михайлова И. В.
