Подробное описание документа

   Исследование равномерности состава двухкомпонентной пленки WxSi1-x по толщине при магнетронном распылении из двух источников / Моисеев К. М., Васильев Д. Д., Хыдырова С., Михайлова И. В. // Наукоемкие технологии. - 2020. - Т. 21, № 9. - С. 13-21.

УДК

621.793.184 Ионное осаждение

Авторы МГТУ

• Моисеев Константин Михайлович
• Васильев Денис Дмитриевич
• Михайлова Ирина Валерьевна

Статья опубликована в следующих изданиях