Подробное описание документа

Статья

Горбунов А. В., Соловьев А. А., Панфилов Ю. В.
Пароструйное нанесение тонких пленок в вакууме / Горбунов А. В., Соловьев А. А., Панфилов Ю. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 262-264.

Авторы МГТУ

Горбунов Артур Валерьевич

Панфилов Юрий Васильевич

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 262-264

Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - 413 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - Посвящается 75-летию специальности "Электронное машиностроение". - ISBN 5-902740-04-05.

подробнее