Подробное описание документа

Статья

Васильев Д. Д., Моисеев К. М.
Оценка неравномерности тонкопленочного покрытия при магнетронном распылении с учетом влияния зоны эрозии планарного цилиндрического магнетрона / Васильев Д. Д., Моисеев К. М. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 291-295.

Авторы МГТУ

Васильев Денис Дмитриевич

Моисеев Константин Михайлович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 291-295

Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - 413 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - Посвящается 75-летию специальности "Электронное машиностроение". - ISBN 5-902740-04-05.

подробнее