Герб МГТУ им. Н.Э. БауманаНаучно-техническая библиотека МГТУ им. Н.Э. Баумана

Подробное описание документа

   Журнал

   Упрочняющие технологии и покрытия.
   Т. 17, № 3. - 2021.

1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
  1. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
  2. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 99-103
   Статья
Жуков В. В., Степанов С. А.
   Разделение кремниевых пластин на диски-кристаллы методом струйно-абразивной обработки / Жуков В. В., Степанов С. А.