Подробное описание документа
Журнал
Упрочняющие технологии и покрытия.
Т. 17, № 3. - 2021.
1 экз.
Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов
- Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
- Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313
Содержание
с. 99-103
Статья
Жуков В. В., Степанов С. А.
Разделение кремниевых пластин на диски-кристаллы методом струйно-абразивной обработки / Жуков В. В., Степанов С. А.
Разделение кремниевых пластин на диски-кристаллы методом струйно-абразивной обработки / Жуков В. В., Степанов С. А.