Подробное описание документа

Статья

Жуков В. В., Степанов С. А.
Разделение кремниевых пластин на диски-кристаллы методом струйно-абразивной обработки / Жуков В. В., Степанов С. А. // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2021. - Т. 17, № 3. - С. 99-103.

УДК
621.382.2 Полупроводниковые (кристаллические) диоды

Авторы МГТУ

Жуков Владимир Викторович

Степанов Степан Александрович

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 99-103

Журнал

Упрочняющие технологии и покрытия.
Т. 17, № 3. - 2021.

подробнее