Подробное описание документа

Панфилов Ю. В.
   Формирование функциональных слоёв : учебное пособие / Панфилов Ю. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2020. - 90 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 89. - ISBN 978-5-7038-5350-4.

Читать онлайн Аннотация

Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких плёнок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчёта основных режимов элионной обработки.
Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».

УДК

621.383:620.3

Предметные рубрики

• Микроэлектронные приборы - Учебники и пособия
• Нанотехнологии - Учебники и пособия

Авторы МГТУ

• Панфилов Юрий Васильевич

Общее кол-во в фондах

20 экз.

1. Абонемент третьего курса, УЛК, ауд. 311л
2. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
3. Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
4. Читальный зал ауд. 345, ГУК, ауд. 345
5. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
6. Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313