Подробное описание документа

Чжо Зин Пьо
   Формирование плёнок дисульфида молибдена для электроники методом магнетронного распыления стехиометрических мишеней : дис... ктн : 05. 27. 06 / Чжо Зин Пьо ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М., 2021. - 150 л. : ил. - Библиогр.: л. 140-150.

УДК

539.23:621.3.049.77

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л