Подробное описание документа

Васильев Д. Д.
   Формирование и исследование плёнок WSI для сверхпроводниковых однофотонных детекторов с повышенной эффективностью и площадью детектирования : 05. 27. 06-Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники : дис... ктн / Васильев Д. Д. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М., 2021. - 157 л. : ил. - Библиогр.: л. 146-157.

УДК

539.23:621.3.049.77

Предметные рубрики

• Пленки - Получение - Диссертации

Общее кол-во в фондах

1 экз.

1. Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
2. Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л