Подробное описание документа
Беликов А. И.
Исследование нанокомпозитных твердосмазочных покрытий, формируемых методом магнетронного распыления / Беликов А. И., Калинин В. Н., Попова М. Г. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2015. -
539.216 Пузырчатая, чешуйчатая, пластинчатая, лучевая, волокнистая структура твердых тел. Пленка