Подробное описание документа

Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 329 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 978-5-7038-4242-3.

Аннотация

В сборник вошли статьи ведущих российских и зарубежных ученых, молодых специалистов, аспирантов и студентов в таких областях, как материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники, технология и оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме, инженерные нанотехнологии в машиностроении и приборостроении.
Конференции посвящены 185-летию Московского государственного технического университета имени Н.Э. Баумана.

УДК
621.38-022.532+621.793

Предметные рубрики

Нанотехнологии

Пленки - Получение

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л

Содержание

с. 122-127.

Статья

Панфилов Ю. В.
Новые методы в классификации процессов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В.

подробнее

с. 178-184

Статья

Егоров В. К., Егоров Е. В., Миронов Ю. М.
Исследование гетероструктуры AU/мусковит / Егоров В. К., Егоров Е. В., Миронов Ю. М.

подробнее

с. 208-212

Статья

Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М.
Исследование влияния вспомогательных операций на состав остаточной атмосферы установки ВУП-11М / Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М.

подробнее

с. 213-217

Статья

Кузовков А. В.
Формирование микроструктур на основе полимеров методом ионного травления / Кузовков А. В.

подробнее

с. 236-241

Статья

Бабурин А. С., Моисеев К. М., Афанасьев К. Н.
Формирование многослойного наноструктурированного тонкопленочного покрытия для одномерного фотонного кристалла / Бабурин А. С., Моисеев К. М., Афанасьев К. Н.

подробнее

с. 242-246

Статья

Спектроскопия стоп-зон одномерного фотонного кристалла -мезопористого оксида алюминия / Горелик В. С., Климонский С. О., Напольский К. С., Филатов В. В.

подробнее

с. 247-251

Статья

Беликов А. И., Калинин В. Н., Попова М. Г.
Исследование нанокомпозитных твердосмазочных покрытий, формируемых методом магнетронного распыления / Беликов А. И., Калинин В. Н., Попова М. Г.

подробнее

с. 252-256

Статья

Вагулина Е. В., Панфилова Е. В., Сырицкий А. Б.
Исследование многослойных структур на основе опаловых пленой методом сканирующей туннельной микроскопии / Вагулина Е. В., Панфилова Е. В., Сырицкий А. Б.

подробнее

с. 257-260

Статья

Доброносова А. А., Колесник В. Л., Панфилова Е. В.
Использование стандартизованных методик при исследовании опаловых структур / Доброносова А. А., Колесник В. Л., Панфилова Е. В.

подробнее

с. 261-263

Статья

Ашурбекова М. И., Панфилова Е. В.
Формирование опаловых структур в условиях электрофореза / Ашурбекова М. И., Панфилова Е. В.

подробнее