Подробное описание документа
Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники). XX Междунар. научно-техн. конф. Тонкие пленки в электронике. XXVII Междунар. симпозиума. Наноинженерия. VII Междунар. научно-техн. конф. : сборник научных трудов / ред. Белянин А. Ф., Панфилов Ю. В., Самойлович М. И. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2015. - 329 с. : ил. - Библиогр.
В сборник вошли статьи ведущих российских и зарубежных ученых, молодых специалистов, аспирантов и студентов в таких областях, как материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники, технология и оборудование для нанесения тонких пленок в вакууме, инженерные нанотехнологии в машиностроении и приборостроении.
Конференции посвящены 185-летию Московского государственного технического университета имени Н.Э. Баумана.
1 экз.![]()
- Преподавательский абонемент ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
- Читальный зал ауд.305л, УЛК, ауд. 305л
Содержание
Новые методы в классификации процессов нанесения тонких пленок в вакууме / Панфилов Ю. В.
Исследование гетероструктуры AU/мусковит / Егоров В. К., Егоров Е. В., Миронов Ю. М.
Исследование влияния вспомогательных операций на состав остаточной атмосферы установки ВУП-11М / Васильев Д. Д., Малеванная Е. И., Моисеев К. М.
Формирование микроструктур на основе полимеров методом ионного травления / Кузовков А. В.
Формирование многослойного наноструктурированного тонкопленочного покрытия для одномерного фотонного кристалла / Бабурин А. С., Моисеев К. М., Афанасьев К. Н.
Исследование нанокомпозитных твердосмазочных покрытий, формируемых методом магнетронного распыления / Беликов А. И., Калинин В. Н., Попова М. Г.
Исследование многослойных структур на основе опаловых пленой методом сканирующей туннельной микроскопии / Вагулина Е. В., Панфилова Е. В., Сырицкий А. Б.
Использование стандартизованных методик при исследовании опаловых структур / Доброносова А. А., Колесник В. Л., Панфилова Е. В.
Формирование опаловых структур в условиях электрофореза / Ашурбекова М. И., Панфилова Е. В.