Подробное описание документа

Статья

Купцов А. Д., Сидорова С. В.
Влияние ионной обработки на электрические и топологические характеристики поверхностей / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М., 2021. - С. 163-168.

УДК
621.52 Разрежение воздуха и газов. Вакуумная техника. Воздушные насосы. Вакуумные насосы

Авторы МГТУ

Купцов Алексей Дмитриевич

Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 163-168

Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М. : НОВЕЛЛА, 2021. - 324 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-6044949-4-3.

подробнее