Личный кабинет
Сидорова Светлана Владимировна
Статьи
Статья
Оценка влияния толщины покрытия на величину остаточных механических напряжений в AL2O3/SI / Сидорова С. В., Купцов А. Д., Новикова О. В., Кушнарев И. В., Епихин А. А., Гусев Е. Э. // Наноиндустрия. - 2024. - Т. 17, № 6. - С. 372-381 .
Статья
Купцов А. Д., Мальцев В. С., Сидорова С. В.
Уменьшение остаточных напряжений в пленках оксида алюминия с помощью ионно-плазменных методов / Купцов А. Д., Мальцев В. С., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 12 Всероссийской конференции, Москва, 31 января-3 февраля 2023 г. : в 2 т. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Физический ин-т им. П. Н. Лебедева РАН. - 978-5-7038-6011-3. - 2023. - Т. 1. -С. 151-156 .
Уменьшение остаточных напряжений в пленках оксида алюминия с помощью ионно-плазменных методов / Купцов А. Д., Мальцев В. С., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 12 Всероссийской конференции, Москва, 31 января-3 февраля 2023 г. : в 2 т. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Физический ин-т им. П. Н. Лебедева РАН. - 978-5-7038-6011-3. - 2023. - Т. 1. -
Статья
Фельде А. А., Ежова П. А., Сидорова С. В.
Исследование влияния ионно-плазменной обработки на поверхность эластичных материалов / Фельде А. А., Ежова П. А., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 12 Всероссийской конференции, Москва, 31 января-3 февраля 2023 г. : в 2 т. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Физический ин-т им. П. Н. Лебедева РАН. - 978-5-7038-6011-3. - 2023. - Т. 1. -С. 239-244 .
Исследование влияния ионно-плазменной обработки на поверхность эластичных материалов / Фельде А. А., Ежова П. А., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 12 Всероссийской конференции, Москва, 31 января-3 февраля 2023 г. : в 2 т. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Физический ин-т им. П. Н. Лебедева РАН. - 978-5-7038-6011-3. - 2023. - Т. 1. -
Статья
Дьячков Г. А., Сидорова С. В.
Экспериментальный стенд для нанесения фоторезиста / Дьячков Г. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 359-362 .
Экспериментальный стенд для нанесения фоторезиста / Дьячков Г. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Ежова П. А., Сидорова С. В.
Плазменная обработка тонкопленочных слоев меди / Ежова П. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 362-365 .
Плазменная обработка тонкопленочных слоев меди / Ежова П. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Кирьянов С. В., Юркин Н. О., Сидорова С. В.
Интегрирование многослойных ферромагнитных островковых структур в датчики слабых полей / Кирьянов С. В., Юркин Н. О., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 365-368 .
Интегрирование многослойных ферромагнитных островковых структур в датчики слабых полей / Кирьянов С. В., Юркин Н. О., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Купцов А. Д., Сидорова С. В.
Морфология подложки и пленки как способ влияния на остаточное напряжение структуры / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 368-370 .
Морфология подложки и пленки как способ влияния на остаточное напряжение структуры / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Мальцев В. С., Сидорова С. В.
Исследование влияния плазменной обработки на тонкопленочные слои оксида алюминия / Мальцев В. С., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 374-377 .
Исследование влияния плазменной обработки на тонкопленочные слои оксида алюминия / Мальцев В. С., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Пименов И. Е., Купцов А. Д., Сидорова С. В.
Исследование технологии создания частотного фильтра / Пименов И. Е., Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 387-390 .
Исследование технологии создания частотного фильтра / Пименов И. Е., Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Фельде А. А., Сидорова С. В.
Обработка в вакууме эластичных материалов для изделий машиностроения / Фельде А. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 396-399 .
Обработка в вакууме эластичных материалов для изделий машиностроения / Фельде А. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Юркин Н. О., Кирьянов С. В., Сидорова С. В.
О внедрении островкового слоя металлов в мемристорные структуры / Юркин Н. О., Кирьянов С. В., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -С. 405-409 .
О внедрении островкового слоя металлов в мемристорные структуры / Юркин Н. О., Кирьянов С. В., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
Статья
Купцов А. Д., Сидорова С. В.
Влияние ионной обработки на электрические и топологические характеристики поверхностей / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М., 2021. -С. 163-168 .
Влияние ионной обработки на электрические и топологические характеристики поверхностей / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М., 2021. -
Статья
Андреасян О. Г., Сидорова С. В.
Островковый тонкоплёночный конденсатор / Андреасян О. Г., Сидорова С. В. // Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М., 2021. -С. 169-172 .
Островковый тонкоплёночный конденсатор / Андреасян О. Г., Сидорова С. В. // Вакуумная наука и техника : материалы 28-ой научно-технической конференциии с участием зарубежних специалистов, Крым, Судак, 16-21 сентября 2021 г. / ред. Нестеров С. Б. ; Российское научно-техническое вакуумное общество им. С. А. Векшинского, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Институт физики твердого тела РАН, Научный союз научных и инженерных общественных объединений. - М., 2021. -
Статья
Купцов А. Д., Сидорова С. В., Егорова С. И.
Ионно-плазменная модификация поверхности / Купцов А. Д., Сидорова С. В., Егорова С. И. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 14-я, Москва, 21-24 сентября 2021 г. : cборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2021. - Т. 1. -С. 258-261 .
Ионно-плазменная модификация поверхности / Купцов А. Д., Сидорова С. В., Егорова С. И. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов (с международным участием), 14-я, Москва, 21-24 сентября 2021 г. : cборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2021. - Т. 1. -
Статья
Гуляева П. С., Сидорова С. В.
Резистивная память: особенности, принцип действия и модернизация технологии внедрением лабиринтных пленок / Гуляева П. С., Сидорова С. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2020. - Т. 22, № 7. -С. 386-393 .
Резистивная память: особенности, принцип действия и модернизация технологии внедрением лабиринтных пленок / Гуляева П. С., Сидорова С. В. // Нано- и микросистемная техника. - 2020. - Т. 22, № 7. -
Статья
Сидорова С. В., Латыпов Р. Д.
Разработка онлайн-курса «Физико-химические основы нанотехнологий» / Сидорова С. В., Латыпов Р. Д. // Цифровые технологии в инженерном образовании: новые тренды и опыт внедрения : международный форум, Москва, 28-29 нояб. 2019 г. : сборник трудов / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М., 2020. -С. 89-95 .
Разработка онлайн-курса «Физико-химические основы нанотехнологий» / Сидорова С. В., Латыпов Р. Д. // Цифровые технологии в инженерном образовании: новые тренды и опыт внедрения : международный форум, Москва, 28-29 нояб. 2019 г. : сборник трудов / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М., 2020. -
Статья
Купцов А. Д., Сидорова С. В.
Моделирование процесса формирования в вакууме металлических наноразмерных тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления для фотоэлементов / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 10-той Всерос. конф., Москва, 27-29 января 2019 : в 3 ч. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Физический институт им. П. Н. Лебедева. - 2019. - Ч. 2. -С. 305-308 .
Моделирование процесса формирования в вакууме металлических наноразмерных тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления для фотоэлементов / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 10-той Всерос. конф., Москва, 27-29 января 2019 : в 3 ч. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Физический институт им. П. Н. Лебедева. - 2019. - Ч. 2. -
Статья
Сидорова С. В.
Методика контроля формирования в вакууме островковых наноразмерных металлических тонких пленок / Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 10-той Всерос. конф., Москва, 27-29 января 2019 : в 3 ч. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Физический институт им. П. Н. Лебедева. - 2019. - Ч. 1. -С. 138-141 .
Методика контроля формирования в вакууме островковых наноразмерных металлических тонких пленок / Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 10-той Всерос. конф., Москва, 27-29 января 2019 : в 3 ч. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана, Физический институт им. П. Н. Лебедева. - 2019. - Ч. 1. -
Статья
Пронин М. А., Сидорова С. В.
Конструктивные особенности вакуумного стенда контроля роста островковых тонких пленок / Пронин М. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. -С. 293-296 .
Конструктивные особенности вакуумного стенда контроля роста островковых тонких пленок / Пронин М. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. -
Статья
Севрюгина Е. А., Сидорова С. В.
Отработка режимов нанесения электропроводящих слоев для микрофлюидных чипов / Севрюгина Е. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. -С. 299-301 .
Отработка режимов нанесения электропроводящих слоев для микрофлюидных чипов / Севрюгина Е. А., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России : сборник докладов 11-й Всерос. конф. молодых учёных и специалистов (с междунар. участием), Москва, 24-27 сентября 2018 г. / МГТУ им. Н. Э. Баумана, Союз машиностроителей России. - М., 2018. -
Статья
Лабораторная база наноинженерии на кафедре "Электронные технологии в машиностроении" МГТУ им. Н. Э. Баумана / Беликов А. И., Колесник К. М., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В., Сидорова С. В. // Высокие технологии в промышленности России (материалы и устройства функциональной электроники и микрофотоники) : материалы 19 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Тонкие пленки в электронике : материалы 26 Международной научно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. Наноинженерия : материалы 6 Международной нучно-технической конф., Москва, 11-13 сентября 2014 г. / [к сб.в целом] МГТУ им. Н. Э. Баумана. - М., 2014. - С. 302-314 .
Статья
Вакуумная установка настольного типа для обучения студентов и проведения научных исследований / Панфилов Ю. В., Колесник Л. Л., Моисеев К. М., Сидорова С. В., Евлампьев А. Н. // Вакуумная техника и технология. - 2012. - Т. 22, № 2. - С. 119-122 .
Статья
Интерактивный учебно-научный комплекс для выполнения работ по формированию наноструктурированных тонкопленочных покрытий / Панфилов Ю. В., Сидорова С. В., Колесник Л. Л., Рябов В. Т., Моисеев К. М. // Наноинженерия. - 2012. - № 3. - С. 31-37 .
Статья
Научная работа студентов в лаборатории ионно-плазменных процессов и нанотехнологии / Панфилов Ю. В., Волчкевич Л. И., Булыгина Е. В., Сидорова С. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 2. - С. 44-48 .
Статья
Сидорова С. В., Панфилов Ю. В.
Контроль роста островковых наноструктур в вакууме / Сидорова С. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 9. -С. 8-11 .
Контроль роста островковых наноструктур в вакууме / Сидорова С. В., Панфилов Ю. В. // Наноинженерия. - 2012. - № 9. -
Статья
Формирование наноразмерных пленок титана на кремнии / Беляева А. О., Сидорова С. В., Миронов Ю. М., Панфилов Ю. В. // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Сер. Приборостроение. - 2010. - № спецвыпуск. - С. 169-177 .
Книги
Индивидуальный лабораторный практикум : учебно-методическое пособие / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023.
Ч. 1 : Литературный обзор / Беликов А. И., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В. [и др.] ; ред. Панфилов Ю. В. - 2023. - 61 с. - Библиогр.:с. 55 . - ISBN 978-5-7038-6150-9 .
Ч. 1 : Литературный обзор / Беликов А. И., Моисеев К. М., Панфилов Ю. В. [и др.] ; ред. Панфилов Ю. В. - 2023. - 61 с. - Библиогр.:
Читать онлайн
84 экз.
Сидорова С. В.
Подготовка, оформление и представление реферата : учебно-методическое пособие / Сидорова С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Нац. исслед. ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2019. - 25 с. : ил. - Библиогр.:с. 16 . - ISBN 978-5-7038-5242-2 .
Подготовка, оформление и представление реферата : учебно-методическое пособие / Сидорова С. В. ; МГТУ им. Н. Э. Баумана (Нац. исслед. ун-т). - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2019. - 25 с. : ил. - Библиогр.:
20 экз.
