Подробное описание документа

Журнал

Электроника: наука, технология, бизнес.
№ 3. - 2023.

Читать онлайн

Скачать оглавление

Общее кол-во в фондах
1 экз.

Заказать в читальный зал

Вы можете получить данный документ в одном из следующих отделов

Преподавательский абонемент ауд.313, ГУК, ауд. 313
Читальный зал ауд.313, ГУК, ауд. 313

Содержание

с. 110-115

Статья

Особенности электронно-лучевой микроразмерной обработки подложек из различных типов керамики / Чжо Я., Масловский В., Моисеев К., Воробьев И., Назаренко М.

подробнее