Подробное описание документа

Статья

Купцов А. Д., Мальцев В. С., Сидорова С. В.
Уменьшение остаточных напряжений в пленках оксида алюминия с помощью ионно-плазменных методов / Купцов А. Д., Мальцев В. С., Сидорова С. В. // Необратимые процессы в природе и технике : труды 12 Всероссийской конференции, Москва, 31 января-3 февраля 2023 г. : в 2 т. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Физический ин-т им. П. Н. Лебедева РАН. - 978-5-7038-6011-3. - 2023. - Т. 1. - С. 151-156.

УДК
53.091 от механических воздействий (кроме давления)

Авторы МГТУ

Купцов Алексей Дмитриевич

Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 151-156

Необратимые процессы в природе и технике : труды 12 Всероссийской конференции, Москва, 31 января-3 февраля 2023 г. : в 2 т. / РАН, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Физический ин-т им. П. Н. Лебедева РАН. - 978-5-7038-6011-3. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2023.
Т. 1. - 2023. - 542 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6012-0.

подробнее