Подробное описание документа
Купцов А. Д.
Морфология подложки и пленки как способ влияния на остаточное напряжение структуры / Купцов А. Д., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. -
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом
Статья опубликована в следующих изданиях
Т. 1. - 2022. - 466 с. : ил. - Библиогр.