Подробное описание документа

Статья

Мальцев В. С., Сидорова С. В.
Исследование влияния плазменной обработки на тонкопленочные слои оксида алюминия / Мальцев В. С., Сидорова С. В. // Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - 2022. - Т. 1. - С. 374-377.

УДК
621 Общее машиностроение. Ядерная техника. Электротехника. Технология машиностроения в целом

Авторы МГТУ

Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 374-377

Будущее машиностроения России. Всероссийская конференция молодых учёных и специалистов ( с международным участием), 15-я, Москва, 21-24 сентября 2022 г. : сборник докладов : в 2 т. / МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Союз машиностроителей России. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2022. - ISBN 978-5-7038-5989-6.
Т. 1. - 2022. - 466 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6002-1.

подробнее