Подробное описание документа
Панфилова Е. В.
Нейросетевая модель для корректировки процесса исследования коллоидных нано- и микроструктур методом атомно-силовой микроскопии / Панфилова Е. В., Ибрагимов А. Р., Францышин Д. В. // Наноиндустрия. - 2024. - Т. 17, № 6. -
Важным этапом процесса формирования микро- и наноструктур являются операции контроля. Для оперативного контроля коллоидных нано- и микроструктурированных пленок используют атомно-силовую микроскопию, реализуемую методом амплитудно-модуляционного полуконтактного сканирования. Этот способ характеризуется сложностью и длительностью настроек режимов сканирования образцов. В данном проекте разработана нейронная сеть для автоматической оптимизации параметров процесса в ходе сканирования, что позволяет значительно ускорить процедуру контроля, повысить качество изображений и точность измерений.
Ключевые слова: Наноструктуры, серебро, атомно-силовая микроскопия
Статья опубликована в следующих изданиях
Т. 17, № 6. - 2024.