Подробное описание документа

   Оценка влияния толщины покрытия на величину остаточных механических напряжений в AL2O3/SI / Сидорова С. В., Купцов А. Д., Новикова О. В., Кушнарев И. В., Епихин А. А., Гусев Е. Э. // Наноиндустрия. - 2024. - Т. 17, № 6. - С. 372-381.

Представлены результаты исследования влияния толщины тонкопленочных покрытий на величину остаточных напряжений в интерфейсе пленка-подложка. В процессе эксперимента использована Si-подложка с тонкой пленкой Al2O3, сформированной магнетронным способом. Впервые показана взаимосвязь формы подложки и уровня остаточных напряжений в тонкопленочном покрытии. Применена модернизированная методика исследования остаточных напряжений в тонкопленочных покрытиях, позволяющая определять механические напряжения в локальных областях тонкой пленки.
Ключевые слова: Механические напряжения, оксид алюминия, кремний, тонкопленочные покрытия, магнетронное распыление, толщина покрытия, шероховатость, оптический профилометр, радиус кривизны

Авторы МГТУ

• Сидорова Светлана Владимировна
• Купцов Алексей Дмитриевич

Статья опубликована в следующих изданиях