Подробное описание документа

Статья

Дьячков Г. А., Сидорова С. В.
Модернизированный стенд центрифугирования для нанесения фоторезиста / Дьячков Г. А., Сидорова С. В. // Наукоемкие технологии в машиностроении : материалы 15-ой Международной научно- технической конференции, Москва, 1-3 ноября 2023 года : в 2 т. / Министерство науки и высшего образования РФ, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского, Институт машиноведения им. А. А. Благонравова Российской академии наук ; общ. ред. Лавриненко В. Ю. - 2024. - Т. 2. - С. 34-35.

Аннотация

Рассмотрен метод нанесения жидкого фоторезиста центрифугированием. Проанализирован процесс нанесения фоторезиста на примере МЭМС устройства. Показана необходимость модернизации существующей центрифуги. Выбраны компоненты нового устройства. Проведена модернизация центрифуги для реализации возможности регулирования числа оборотов при нанесении фоторезиста различной вязкости. Сделаны выводы о возможности применения модернизированной центрифуги в ис-следованиях в рамках лаборатории кафедры.
Ключевые слова: нанесение фоторезиста, центрифугирование, фотолитография, микросистемы

УДК
62 Инженерное дело. Техника в целом

Авторы МГТУ

Сидорова Светлана Владимировна

Статья опубликована в следующих изданиях

с. 34-35

Наукоемкие технологии в машиностроении : материалы 15-ой Международной научно- технической конференции, Москва, 1-3 ноября 2023 года : в 2 т. / Министерство науки и высшего образования РФ, МГТУ им. Н. Э. Баумана (национальный исследовательский ун-т), Центральный аэрогидродинамический институт им. Н. Е. Жуковского, Институт машиноведения им. А. А. Благонравова Российской академии наук ; общ. ред. Лавриненко В. Ю. - М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2024. - ISBN 978-5-7038-6332-9.
Т. 2. - 2024. - 376 с. : ил. - Библиогр. в конце статей. - ISBN 978-5-7038-6334-3.

подробнее